檢索結果:共4筆資料 檢索策略: "Sendren Sheng-Dong Xu".ecommittee (精準) and cadvisor.raw="郭鴻飛"
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外殼包覆之奈米粒子表面增強拉曼散射(Shell Isolated Nanoparticle Enhanced Raman Spectroscopy, SHINERS)技術是目前非常具有吸引力的方法,…
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近幾十年來半導體業廣泛應用微影技術將電路設計的圖形轉印至矽晶圓基板上,但隨著關鍵尺寸(Critical Dimension)的日漸微縮,物理的極限以及因越趨複雜的設計進而產生的曝光缺陷皆是製程上必須…
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本論文將粒子群多目標最佳化(MOPSO)演算法整合到光源和光罩同步優化(SMO)過程中,以增強極紫外(EUV)光刻成像的性能。本研究開發了同步處理光源和光罩圖案的方法。對於自由形式的光源結構基於像素…
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近年對於晶片的需求大幅增長,而其電路設計圖案依賴於微影技術將其轉印至矽基板上,並且隨著關鍵尺寸(Critical Dimension)的日漸微縮、單位面積下所容納的電路圖案增多以及晶片尺寸增大的趨勢…